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无线电厂芯片制造车间里,南园电子厂的三十名工程师仍然在跟着刘工努力学习着光刻机的使用技巧。
或许当初看光刻机使用步骤会觉得非常简单,无非就是涂胶、曝光、冲洗,最后刻蚀完事,这能有什么难的?可当后来刘工分步骤的一步步给他们讲解,才让他们明白这里面的门道有多深。
就拿第一步的涂胶来说,字面意思就是给硅片上涂一层光刻胶,因为光刻实际就是刻的这些光刻胶,而不是硅片。
这些光刻胶被特定波长的光照就会被溶解清除,再放进特定的化学溶剂里浸泡,最终得出自己想要的硅片,一次光刻就此完成。
听起来好像很简单,可涂胶不是摊煎饼果子,也不会允许你拿个小铲子给光刻胶抹匀,事实上那样也根本抹不匀。
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